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晶圓檢測儀

簡要描述:KLA-Tencor 2351 晶圓檢測儀是一種先進的晶圓和掩模檢測系統(tǒng),廣泛應用于半導體制造行業(yè)。該系統(tǒng)具備多種功能,包括高分辨率成像、自動化分析以及專門的缺陷檢測和過程改進設備。它利用激光掃描技術來檢測和分類半導體晶片上的缺陷,以提高產率,并提供全場自上而下的掃描、600倍或1000倍放大資產等高性能缺陷審查模型。

  • 產品型號:2351
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新日期:2025-03-26
  • 訪  問  量:591

詳細介紹

KLA-Tencor 2351 晶圓檢測儀

是一種先進的晶圓和掩模檢測系統(tǒng),廣泛應用于半導體制造行業(yè)。該系統(tǒng)具備多種功能,包括高分辨率成像、自動化分析以及專門的缺陷檢測和過程改進設備。它利用激光掃描技術來檢測和分類半導體晶片上的缺陷,以提高產率,并提供全場自上而下的掃描、600倍或1000倍放大資產等高性能缺陷審查模型

KLA-Tencor 2351 的主要特點包括:

  1. 高分辨率成像:該系統(tǒng)能夠進行高精度的圖像采集,確保快速準確地識別出微小的缺陷。

  2. 自動化分析:通過專有的操作系統(tǒng)和高分辨率檢查攝像頭,可以快速準確地分類缺陷。

  3. 快速掃描速度:支持快速掃描,適用于大規(guī)模生產環(huán)境。

  4. 詳細的分析報告:內置報告功能使用戶能夠生成缺陷信息和實時數據的圖形報告。

  5. 易用性:具有直觀的圖形用戶界面(GUI),允許用戶快速設置、配置和監(jiān)視設備的操作。

此外,KLA-Tencor 2351 還具備以下優(yōu)勢:

  • 提供全面的缺陷檢測能力,能夠檢測到尺寸小于一微米的缺陷。

  • 支持200mm晶圓尺寸,并在2001年對前一代產品2350進行了升級,增強了靈敏度、吞吐量和易用性

  • 配備了DIC成像技術和可編程圖案識別算法,進一步提升了檢測精度和效率。

KLA-Tencor 2351 是一款功能強大且高效的晶圓和掩模檢測系統(tǒng),廣泛應用于半導體制造領域,幫助提高產品質量和生產效率。

系統(tǒng)概述

用于半導體行業(yè)

高性能、經濟高效的工具

提供詳細圖像和測量

主要功能

檢測、分類和量化缺陷

快速準確地獲取和分析數據

支持DIC成像、可編程圖案識別算法

技術特點

高分辨率成像技術

一微米級別的缺陷檢測能力

自動化晶圓和掩模檢查系統(tǒng)

應用領域

半導體制造過程控制

晶圓檢測與質量保證

設備規(guī)格與升級

支持200mm晶圓大小

2003年升級至2350版本,增強靈敏度、吞吐量和易用性


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